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钼溅射靶材的特性要求

作者: 发布时间:2017-04-05 浏览次数:973
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钼溅射靶材的特性要求

    在电子行业中,为了提高溅射效率和确保沉积薄膜的质量,对钼溅射靶材特性有如下要求。

2.1 纯 度

高纯度是对钼溅射靶材的一个基本特性要求。钼靶材的纯度越高,溅射薄膜的性能越好。一般钼溅射靶材的纯度至少需要达到99.95%(质量分数,下同),但随着LCD行业玻璃基板尺寸的不断提高,要求配线的长度延长、线宽变细,为了保证薄膜的均匀性以及布线的质量,对钼溅射靶材纯度的要求也相应提高。因此,根据溅射的玻璃基板的尺寸以及使用环境,钼溅射靶材的纯度要求在99.99%~99.999%甚至更高。

钼溅射靶材作为溅射中的阴极源,固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。此外,在电子行业中,由于碱金属离子(Na+、K+)易在绝缘层中成为可移动性离子,降低元器件性能;铀(U)和钛(Ti)等元素会释放α射线,造成器件产生软击穿;铁、镍离子会产生界面漏电及氧元素增加等。因此,在钼溅射靶材的制备过程中,需要严格控制这些杂质元素,***大程度的降低其在靶材中的含量。

2。2 致密度

溅射镀膜的过程中,致密度较小的溅射靶受轰击时,由于靶材内部孔隙内存在的气体突然释放,造成大尺寸的靶材颗粒或微粒飞溅,或成膜之后膜材受二次电子轰击造成微粒飞溅。这些微粒的出现会降低薄膜品质。为了减少靶材固体中的气孔,提高薄膜性能,一般要求溅射靶材具有较高的致密度。对钼溅射靶材而言,其相对密度应该在98%以上。

2.3 晶粒尺寸及尺寸分布

通常钼溅射靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。试验研究表明,细小尺寸晶粒靶的溅射速率要比粗晶粒快;而晶粒尺寸相差较小的靶,淀积薄膜的厚度分布也较均匀。

2.4 结晶取向

众盈彩票注册由于溅射时靶材原子容易沿原子六方***紧密排列方向择优溅射出来,因此,为达到***高溅射速率,常通过改变靶材结晶结构的方法来增加溅射速率。靶材的结晶方向对溅射膜层的厚度均匀性影响也较大。因此,获得一定结晶取向的靶材结构对薄膜的溅射过程至关重要。

2.5 靶材与底盘的绑定一般钼溅射靶材溅射前必须与无氧铜(或铝等其他材料)底盘连接在一起,使溅射过程中靶材与底盘的导热导电状况良好。绑定后必须经过超声波检验,保证两者的不结合区域小于2%,这样才能满足大功率溅射要求而不致脱落。


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